測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)

算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種

數(shù)據(jù)分析

技 術(shù) 指 標(biāo) ：

測(cè)量范圍

電阻率：10-5～105 ?.cm(可擴(kuò)展)；

方塊電阻：10-4～106 ?/□(可擴(kuò)展)；

電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm；

電阻：10-5～105 ?；

可測(cè)晶片厚度

≤3mm

可測(cè)晶片直徑

140mmX150mm(配 S-2A 型測(cè)試臺(tái))；

200mmX200mm(配 S-2B 型測(cè)試臺(tái))；

400mmX500mm(配 S-2C 型測(cè)試臺(tái))；

恒流源

電流量程分為 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六檔，各檔電流

連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式 000.00～199.99 mV；

分辨力：10μV；

輸入阻抗＞1000M?；

精度：±0.1% ；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000M?；

機(jī)械游移率：≤0.3％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見(jiàn)探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差

( 按 JJG508-87 進(jìn)行)

0.01?、0.1?、1?、10?、100?、1000?、10000?≤0.3％±1 字

整機(jī)測(cè)量*大相對(duì)誤差 (用硅標(biāo)樣片:0.01-180?.cm 測(cè)試) ≤±4％

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4％

計(jì)算機(jī)通訊接口 并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度：25±5℃；

相對(duì)濕度：≤65％；

無(wú)高頻干擾；